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浙江垂直型离子溅射糖果派对手机版

  • 所属分类:浙江离子溅射糖果派对手机版

  • 点击次数:
  • 发布日期:2016/05/14
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详细介绍

型号:IBSV-1030    

特点:

a)基板垂直放置,水平监控;

b)转靶左右可调,保证靶面中心和离子源最佳距离;

c)基板:12吋×1 ;

d)靶材:两靶或三靶可更换;

e)多光路监控。

f)工件夹具:12吋

工艺参数:

1)真空系统

a)极限真空度:4.0×10-5Pa 

b)抽至10Pa所用时间 10 Pa:≦ 10 分钟

c)漏率:3.0×10-5Pa m3/sec

2)控制精度

a)靶材旋转:0.005°

b)工件旋转: <1000RPM

c)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/rev

d)膜厚修正板:0.005°

e)挡板:  position switch

3)光学监控系统OMS

a) 波长范围:380nm~1650nm

b) 光源稳定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02%

c) 波长分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm

d) 波长准确度: 白光0.2nm ,激光0.1nm


      


      杰莱特拥有世界领先的糖多派对APP下载技术,已申请多项专利。生产多种高质量镀膜设备,同时承揽镀膜设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务。

      公司生产的各型糖果派对手机版,是针对特定市场和客户群体开发的新产品,与目前市场上普遍采用的镀膜设备相比具备以下突出优势:单体同步精密监控,实时膜厚分布控制。因此适合做各类高难度镀膜产品。单片薄膜产品的面积越大,优势越明显。而电子束糖果派对手机版还增加了双面镀膜功能,适合半导体激光器的端面镀膜。

      杰莱特秉承质量第一,信誉至上的理念专注镀膜行业数十年,我公司将利用自身技术优势,根据客户需求,生产各种类型的高端精密镀膜设备,打破目前在高端糖果派对手机版市场全部由国外企业垄断的局面,欢迎各界人士来电咨询!



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