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镀膜设备真空系统主泵的配置

发布日期:2016-06-28 00:00 来源: 点击:

        真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,糖果派对APP下载的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况。

镀膜设备真空系统主泵的配置

  真空系统是糖果派对APP下载不可缺少的重要组成部分。常用的高真空系统结构形式, 一般由主泵及前级泵串联, 加上阀门、管道及真空测量仪表组成. 按所选的主泵不同分为有油真空系统和无油真空系统。

1、有油真空系统

  有油高真空系统一般以油扩散泵为主泵。前级泵为机械泵或机械泵+罗茨泵。

  众所周知, 油扩散泵的工作压力范围为(10- 1~10- 6) Pa。抽气速率大,可从每秒几升到每秒十几万升。在(10- 2~10- 4) Pa 范围具有稳定的抽速,结构简单,无机械传动,无摩擦,工作可靠,无振动,无噪音。寿命长,维护简单,投资费用低。主要缺点是油蒸汽易返流到真空室中, 形成污染源。采用挡油帽和障板及冷阱等措施可以降低返油率,但不能根除。仍会有一部分油蒸气返流,而且也降低了泵的抽气速率。此外油扩散泵使用时能耗大,运行费用高。启动慢,停泵时间长,特别是大规格泵。

2、无油真空系统

  当前以分子泵和低温泵作主泵的无油真空系统在糖果派对APP下载中广泛使用。

2.1、以分子泵为主泵的真空系统的特点

  分子泵是靠高速运动的刚体表面来携带气体分子实现抽气的真空泵. 能连续大量抽气。可以获得清洁无油的高真空和超高真空。启动、停泵时间短,但抽重气体比抽轻气体快,对水蒸汽抽速慢,涡轮分子泵在分子流领域抽气效率高,但当气体大量流过泵时,抽速就下降。在1 Pa 以上压力范围工作抽速降低很多, 这对使用不利。将涡轮分子泵的高压强侧配置了螺旋槽式牵引分子泵, 使两种泵的抽气单元串联组成一整体。形成的宽域型复合分子泵, 这种泵在压力低于10 Pa以下抽速保持不变。高压强范围有较大抽速。弥补了涡轮分子泵的不足。

2.2、以低温泵为主泵的真空系统的特点

  低温泵是气体捕集型泵.是利用低温表面冷凝、吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。正常工作时不需前级泵.起始压力高,工作压力范围宽(1~10- 8 )Pa。可以抽除各种气体。但不能连续抽气, 每隔一定时间需进行再生。与同口径其他泵比较, 抽速大, 特别是对水蒸汽有很高的抽速, 相当于同口径分子泵的四倍。所以使被抽容器内水蒸汽分压低, 从而获得清洁的无碳氢化合物的高真空和超高真空。泵内无运动部件, 无振动,无噪音,可以任意位置安装。占地面积小,运行费用比油扩散泵低。操作简单。

3、北京北仪创新真空技术有限责任公司(以下简称北仪创新公司)生产糖果派对APP下载情况

  糖果派对APP下载是北仪创新公司主导产品之一, 自1961 年开发第一台糖果派对APP下载以来,累计已设计生产了不同品种、规格型号的高糖果派对APP下载六千台以上。应用于各个领域. 其中大多数设备的真空系统是配备着油扩散泵作主泵的。

  二十世纪八十年代以来科学技术的迅猛发展,对糖果派对APP下载的清洁度要求日益提高,设备所镀膜层的质量与所用材料、镀膜工艺及真空系统内所含有的水蒸汽及油污染的程度有很大关系. 传统的以油扩散泵为主泵的真空系统由于有油蒸汽的污染,已不能满足使用要求,国外工业发达国家纷纷推出以分子泵和低温泵作主泵的半无油和全无油真空系统的全自动镀膜设备. 新型的无油泵如分子泵和低温泵, 已成为无油系统的主流。不少单位花费大量外汇购买国外先进的以分子泵和低温泵作主泵的无油系统镀膜设备.这不但价格昂贵, 而且售后服务及零备件供应很不方便, 作为糖果派对APP下载专业制造厂,研发生产真空性能良好的设备,义不容辞。


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